高光譜/多光譜成像 
光路調(diào)節(jié)相關(guān) 
光學(xué)頻率梳相關(guān) 
熒光 
光學(xué)組件 
激光器|光源 
拉曼測(cè)量 
Libs激光誘導(dǎo)擊穿 
顯微光譜測(cè)量 
量子效率 新聞資訊
深紫外濾光片是指能在深紫外波段（通常為100nm-200nm左右）對(duì)光進(jìn)行選擇性透過或阻擋的光學(xué)器件。
材料表面改性
- 利用深紫外光的高能量，可以引發(fā)材料表面的化學(xué)反應(yīng)，從而改變材料表面的化學(xué)組成和結(jié)構(gòu)。深紫外濾光片可用于將深紫外光從其他波長的光中分離出來，為材料表面改性提供特定波長的深紫外光源。例如，135nm深紫外濾光片能從寬譜光源中精準(zhǔn)選出135nm深紫外光，為材料表面改性提供準(zhǔn)確波長的光能量。
光刻技術(shù)
- 光刻是超大規(guī)模集成電路制造中的關(guān)鍵技術(shù)，深紫外光刻技術(shù)是實(shí)現(xiàn)更高分辨率光刻的重要手段。深紫外濾光片在光刻系統(tǒng)中用于精確控制深紫外光的波長和強(qiáng)度，確保光刻過程中圖案的高精度轉(zhuǎn)移。通過使用深紫外濾光片，可以獲得更窄的深紫外光帶寬，提高光刻的分辨率，從而能夠制造出更小尺寸的集成電路器件。
材料分析
- 深紫外光可以與材料發(fā)生相互作用，產(chǎn)生特定的光譜特征。深紫外濾光片可用于光譜分析儀器中，如深紫外吸收光譜儀、熒光光譜儀等。它可以將深紫外光聚焦到樣品上，并過濾掉其他波長的光，使探測(cè)器能夠準(zhǔn)確檢測(cè)到材料在深紫外波段的吸收或發(fā)射信號(hào)，進(jìn)而分析材料的電子結(jié)構(gòu)、化學(xué)鍵等信息，有助于研究材料的光學(xué)性質(zhì)、能帶結(jié)構(gòu)以及雜質(zhì)和缺陷等。
薄膜生長監(jiān)測(cè)
- 在薄膜材料的生長過程中，需要實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜的厚度、生長速率和質(zhì)量等參數(shù)。深紫外濾光片可用于光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng)中，通過將深紫外光照射到生長的薄膜上，利用薄膜對(duì)深紫外光的干涉效應(yīng)來監(jiān)測(cè)薄膜的厚度變化。由于深紫外光的波長較短，對(duì)薄膜厚度的變化更為敏感，因此可以實(shí)現(xiàn)高精度的薄膜生長監(jiān)測(cè)。例如在薄膜生長過程中，利用135nm深紫外光照射薄膜表面，不同成分的薄膜對(duì)深紫外光的吸收和反射特性不同。通過配備135nm深紫外濾光片的光譜儀分析反射光或透射光的光譜，可以實(shí)時(shí)獲取薄膜的成分信息。
納米材料制備
- 在一些納米材料的制備過程中，深紫外光可以作為引發(fā)劑或催化劑，促進(jìn)納米材料的成核和生長。深紫外濾光片能夠提供純凈的深紫外光源，精確控制反應(yīng)條件，有助于制備出尺寸均勻、性能優(yōu)良的納米材料。例如，在制備半導(dǎo)體納米晶、金屬納米顆粒等方面，深紫外光照射結(jié)合適當(dāng)?shù)臑V光片可以實(shí)現(xiàn)對(duì)納米材料生長過程的有效調(diào)控。
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